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一种用于微薄膜传感器智能刀具制作的辅助夹具 

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申请/专利权人:哈尔滨理工大学

摘要:本发明涉及一种用于微薄膜传感器智能刀具制作的辅助夹具,包括夹具固定板、夹具机架、卧式驱动装置、立式压力调节装置和横向夹紧装置;卧式驱动装置包括支架、水平丝杠、立方螺母、连杆和推板,为刀具提供水平方向预紧载荷;立式压力调节装置包括立式丝杠、驱动手柄、L形压块和T形螺母,沿铅垂方向对刀具进行控制;横向夹紧装置包括驱动滑块、固定齿条、驱动齿条、压板和六角螺栓。本发明采用简化的机械组件和简便的操作,结合载荷作用的夹紧单元,并将所施加外载荷压力有效转化为被加工刀具的夹紧力,结合刻度尺参照依据,实现不同尺寸形状刀具的定位装夹,显著提高微薄膜传感器智能刀具的制备效率和薄膜的质量与致密性,有助于智能刀具的研发设计。

主权项:1.一种用于微薄膜传感器智能刀具制作的辅助夹具,用于在镀膜设备中对被加工刀具进行快速夹紧固定,并保证掩膜部分与刀具基体高精度紧密贴合,其特征在于,所述快速固定夹具包括:夹具固定板17、夹具机架6、卧式驱动装置、立式压力调节装置和横向夹紧装置;所述卧式驱动装置包括支架1和水平丝杠18;所述水平丝杠18安装于支架1上,水平丝杠18阶梯端与支架1右端通过嵌套滚动轴承相连接,水平丝杠18设置于支架1的两个支撑件之间,且螺纹30对称分布在水平丝杠18上;所述立式压力调节装置包括立式丝杠10和垫圈22,所述立式丝杠10安装于夹具机架6上,立式丝杠10阶梯端与夹具机架6顶部通过阶梯孔8相连接,且立式丝杠10末端与夹具机架6底部通过定位销20和圆环21固定;所述横向夹紧装置包括驱动齿条28、固定齿条29和驱动滑块3;所述驱动齿条28固定在驱动滑块3一端的底部,且通过齿条移动啮合对被加工刀具进行位置约束;所述固定齿条29固定在夹具机架6一端,且家具机架6对应的另一端设有一对半圆柱凹槽19。

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