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申请/专利权人:KOA株式会社
摘要:一种载荷传感器元件,具备:基板;作为第一层的无机层,设置于基板的一面即表面,覆盖基板的一部分;以及薄膜电阻体,设置于表面。薄膜电阻体具有主体部、一端部以及另一端部,所述主体部被夹在基板与无机层之间,所述一端部以及所述另一端部载置于未被无机层覆盖的基板的暴露部。载荷传感器元件具备作为第二层的加强层,所述加强层以与无机层一起夹持基板的方式设置于基板的另一面即背面。载荷传感器元件以与表面相接的无机层的无机层一端边缘和与背面相接的加强层的加强层一端边缘在基板的厚度方向上对齐的方式配置无机层以及加强层。
主权项:1.一种载荷传感器元件,用于测定面压载荷,所述载荷传感器元件具备:基板;第一层,设置于所述基板的一面,覆盖所述基板的一部分;以及薄膜电阻体,是电阻值根据从所述第一层受到的载荷而变化的电阻体,所述薄膜电阻体设置于所述基板的所述一面,且具有主体部和两端部,所述主体部被夹在所述基板与所述第一层之间,所述两端部配置于未被所述第一层覆盖的所述基板的暴露部;一对电极,分别与所述薄膜电阻体的两端部电连接;以及第二层,以与所述第一层一起夹持所述基板的方式设置于所述基板的另一面,以与所述基板的所述一面相接的所述第一层的至少一边的边缘和与所述另一面相接的所述第二层的至少一边的边缘在所述基板的厚度方向上对齐的方式配置所述第一层以及所述第二层。
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