龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：广州粤芯半导体技术有限公司
申请日：2021-12-28
公开（公告）日：2022-05-31
公开（公告）号：CN216634216U
专利技术分类：.用于连接或卸下靠压配合的物件[2006.01]
专利摘要：本实用新型提供了一种石英环拆卸装置，用于拆卸晶圆承载盘上的石英环，包括：支撑单元，包括支撑柱及相互平行的第一平板和第二平板，所述支撑柱一端固定在位于晶圆承载盘外围的接地承载盘上，另一端贯穿所述第一平板，所述第二平板固定在所述支撑柱的一设定高度位置处，且所述第一平板位于所述第二平板之上；升降单元，包括固定于所述第一平板并贯穿所述第二平板的螺杆；吸附单元，包括连杆和真空吸盘，所述连杆的一端固定于所述第一平板，另一端贯穿所述第二平板并连接所述真空吸盘；其中，通过所述螺杆的旋转带动所述第一平板在所述支撑柱上进行升降运动，从而带动所述连杆及所述真空吸盘同步升降，进而实现对所述石英环的吸附和拆卸。
专利权项：1.一种石英环拆卸装置，用于拆卸晶圆承载盘上的石英环，其特征在于，包括：支撑单元，包括支撑柱及相互平行的第一平板和第二平板，所述支撑柱一端固定在位于所述晶圆承载盘外围的接地承载盘上，另一端贯穿所述第一平板，所述第二平板固定在所述支撑柱的一设定高度位置处，且所述第一平板位于所述第二平板之上；升降单元，包括螺杆，所述螺杆固定于所述第一平板并贯穿所述第二平板；以及，吸附单元，包括连杆和真空吸盘，所述连杆的一端固定于所述第一平板，另一端贯穿所述第二平板并与所述真空吸盘连接；其中，通过所述螺杆的旋转带动所述第一平板在所述支撑柱上进行升降运动，从而带动所述连杆及所述真空吸盘同步升降，进而实现对所述石英环的吸附和拆卸。
百度查询： 广州粤芯半导体技术有限公司 石英环拆卸装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号