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申请/专利权人：南京邮电大学
摘要：本发明公开了一种低损耗的拱柱芯微纳波导，包括衬底；所述衬底的顶部两侧设置有支撑层；所述支撑层的顶部设置有金属层；两侧支撑层之间设置有高折射率层；所述高折射率层为拱柱状结构；所述高折射率层周围的空气构成低折射率区域。该拱柱芯微纳波导可将光场限制在中间层的低折射率介质区域中，整个波导结构同时具有较强的模式限制能力和较长的传输距离。该混合等离激元波导结构简单，结构集成度高且容易制备，为实现更高集成度的光子器件提供了可能。
主权项：1.一种低损耗的拱柱芯微纳波导，其特征在于，包括衬底；所述衬底的顶部两侧设置有支撑层；所述支撑层的顶部设置有金属层；两侧支撑层之间设置有高折射率层；所述高折射率层为拱柱状结构；所述高折射率层周围的空气构成低折射率区域；所述金属层的材料为Ag；所述支撑层的材料为ZnO；所述高折射率层的材料为Si；所述衬底的材料为SiO2；所述支撑层和金属层之间还设置有固定层；所述固定层的材料为Si3N4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京邮电大学 一种低损耗的拱柱芯微纳波导
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