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具有高沟道迁移率的SiCMOSFET及其制备方法 

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申请/专利权人:深圳佳恩功率半导体有限公司

摘要:本发明提供了具有高沟道迁移率的SiCMOSFET及其制备方法,涉及SiCMOSFET器件技术领域,包括衬底,所述衬底上方依次设有N‑漂移层、N+漂移层和p+源区层,N‑漂移层、所述N+漂移层和所述p+源区层的内部由内至外依次设有栅极、氧化层、N型块和P型块,所述N+源区层的顶部设有源极金属层,所述衬底下方设有漏极金属层,通过在SiCMOSFET内部形成由N型块和P型块组成的隔离层对氧化层进行阻挡,减少沟道受到的界面粗糙散射的影响,同时还可以在沟道处形成一电子通道,达到提升沟道迁移率的效果。

主权项:1.具有高沟道迁移率的SiCMOSFET,其特征在于,包括:衬底,所述衬底上方依次设有N-漂移层、N+漂移层和p+源区层,N-漂移层、所述N+漂移层和所述p+源区层的内部由内至外依次设有栅极、氧化层、N型块和P型块,所述N+源区层的顶部设有源极金属层,所述衬底下方设有漏极金属层。

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权利要求:

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