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申请/专利权人：通威太阳能(眉山)有限公司
申请日：2022-08-26
公开（公告）日：2023-01-17
公开（公告）号：CN218321749U
专利技术分类：..气体供给或排出的装置；气流的变换[2006.01]
专利摘要：扩散炉及扩散系统，属于太阳能电池技术领域。扩散系统包括扩散炉和磷源储气罐。扩散炉包括炉管和输气管，炉管具有对立的第一端和第二端，用于容纳沿第一端至第二端方向延伸的石英舟。输气管用于输送气体，输气管的出气端沿气体输送方向从设置于炉管第一端的第一插口插入炉管内，出气端沿气体输送方向超出石英舟靠近炉管的第二端，且出气端的管径沿气体输送方向增大。由于出气端沿气体输送方向增大，且出气端沿气体输送方向超出石英舟，则从出气端流出的气体能够以相对较小的流速与石英舟的端部接触，使得位于出气端相邻位置处的硅片能够与工艺气体接触更长时间，提高扩散质量。
专利权项：1.一种扩散炉，其特征在于，包括：炉管，所述炉管具有相对的第一端和第二端，所述第一端设置有第一插口，所述炉管用于容纳沿所述第一端至所述第二端方向延伸的石英舟；输气管，用于气体的输送，定义所述第一端至所述第二端的方向为气体输送方向；所述输气管的出气端沿所述气体输送方向插入所述第一插口，所述出气端被配置为沿所述气体输送方向超出所述石英舟且靠近所述第二端；所述出气端的管径沿所述气体输送方向增大。
百度查询： 通威太阳能(眉山)有限公司 扩散炉及扩散系统
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