买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司

摘要：本实用新型涉及到一种集成化晶圆干燥系统中的晶圆摆荡模块，该晶圆摆荡模块包括有安装固定单元、晶圆盒支撑单元和运动单元，安装固定单元中侧向组合件及底部安装板件用于主安装板件固定于工艺槽体的外壁；晶圆盒支撑单元中组合加强筋结构件连接晶圆盒水平向固定支撑杆和垂直轴向L型晶圆盒固定支撑杆，晶圆盒承载组合框架固定于垂直轴向L型晶圆盒固定支撑杆上，晶圆盒水平向固定支撑杆的前端连接组合加强筋结构件，后端连接衔接支撑杆；运动单元中驱动电机和运动滑轨设置在所述主安装板件上，轮摆轴固定器设置在运动滑轨上。本实用新型的摆荡模块在晶圆干燥系统中能可控地产生往复式的轮摆型圆周运动。

主权项：1.一种集成化晶圆干燥系统中的晶圆摆荡模块，该晶圆摆荡模块外挂于工艺槽体的一侧，用于在干燥过程中对晶圆进行摆荡运动，其特征在于，所述晶圆摆荡模块包括：安装固定单元，包括主安装板件、侧向组合件及底部安装板件，其中，所述侧向组合件和所述底部安装板件呈L型组合，固定于所述主安装板件异于工艺槽体的一侧，用于将所述主安装板件固定与工艺槽体的外壁；晶圆盒支撑单元，包括晶圆盒水平向固定支撑杆、组合加强筋结构件，垂直轴向L型晶圆盒固定支撑杆、衔接支撑杆及晶圆盒承载组合框架，其中，组合加强筋结构件连接晶圆盒水平向固定支撑杆和垂直轴向L型晶圆盒固定支撑杆，所述晶圆盒承载组合框架固定于垂直轴向L型晶圆盒固定支撑杆，所述晶圆盒水平向固定支撑杆的前端连接组合加强筋结构件，后端连接衔接支撑杆，中间设置通孔；运动单元，包括驱动电机、运动滑轨，轮摆轴固定器及轮摆式联轴转接器，其中，所述驱动电机和所述运动滑轨设置在所述主安装板件上，所述轮摆轴固定器设置在运动滑轨上，呈拱形结构，通过晶圆盒水平向固定支撑杆的通孔连接晶圆盒水平向固定支撑杆，使晶圆盒水平向固定支撑杆足够的运动距离；所述轮摆式联轴转接器连接晶圆盒水平向固定支撑杆的后端和衔接支撑杆，驱动电机通过轮摆式联轴转接器，产生垂直相交的驱动力，以产生往复式的轮摆型圆周运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 江苏启微半导体设备有限公司 一种集成化晶圆干燥系统中的晶圆摆荡模块