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申请/专利权人：麦斯卓微电子(南京)有限公司;马修·恩格;刘晓蕾;王桂芹
申请日：2021-07-19
公开（公告）日：2023-04-04
公开（公告）号：CN115917422A
专利技术分类：.动力操纵的聚焦[2021.01]
专利摘要：本发明公开了一种制造MEMS组件的方法，包括：制造OISIS子组件，其中OISIS子组件包括光学图像稳定器和图像传感器；以及将OISIS子组件耦合至AF子组件以形成OISISAF组件。
专利权项：1.一种制造MEMS组件的方法，包括：制造OISIS子组件，其中所述OISIS子组件包括光学图像稳定器和图像传感器；以及将所述OISIS子组件耦合至AF子组件以形成OISISAF组件。
百度查询： 麦斯卓微电子(南京)有限公司 马修·恩格 刘晓蕾 王桂芹 MEMS组件工艺流程
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