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申请/专利权人：苏州德瑞姆超声科技有限公司
申请日：2024-03-21
公开（公告）日：2024-08-02
公开（公告）号：CN118417220A
专利技术分类：.用喷射力来清洁[2006.01]
专利摘要：本发明公开了脱胶机工艺流程，涉及到脱胶机工艺流程领域，具体包括以下步骤：S1、预喷淋清洗，将硅片放置到清洗槽中，使用喷头对硅片的表面进行喷水清洗，去除其表面残留的切割液和杂质；S2、终喷淋清洗，将硅片放置在清洗槽中，打开超声波发生器，同时使用喷头对硅片的表面进行喷水清洗，进一步的去除硅片表面残留的切割液和载纸；S3、喷淋脱胶，将硅片放置在除胶槽中，再使用喷头对硅片的喷淋脱胶液，主要对硅片的根本进行喷淋，使脱胶液渗透至硅片的粘胶面上。本发明不需要手工脱胶，便于提高对硅片的脱胶效果和脱胶效率，同时能够提高硅片脱胶的安全性，避免对硅片造成损坏，避免造成浪费，便于人们使用。
专利权项：1.脱胶机工艺流程，其特征在于：具体包括以下步骤：S1、预喷淋清洗，将硅片放置到清洗槽中，使用喷头对硅片的表面进行喷水清洗，去除其表面残留的切割液和杂质；S2、终喷淋清洗，将硅片放置在清洗槽中，打开超声波发生器，同时使用喷头对硅片的表面进行喷水清洗，进一步的去除硅片表面残留的切割液和载纸；S3、喷淋脱胶，将硅片放置在除胶槽中，再使用喷头对硅片的喷淋脱胶液，主要对硅片的根本进行喷淋，使脱胶液渗透至硅片的粘胶面上，通过脱胶液和喷淋的双重作用能够更快的实现对硅片脱胶；S4、硅片漂洗，将脱胶后的硅片放置到漂洗槽中，使用清水对硅片的表面进行漂洗，去除硅片表面残留的脱胶液，完成对硅片的脱胶。
百度查询： 苏州德瑞姆超声科技有限公司 脱胶机工艺流程
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