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申请/专利权人：乐山高测新能源科技有限公司
申请日：2022-04-14
公开（公告）日：2022-06-10
公开（公告）号：CN114602917A
专利技术分类：
专利摘要：本申请实施例提供一种脱胶装置，包括：硅片作业线；所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位；所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶，以使硅片与晶托组件分离；所述擦除工位用于进一步擦除硅片上的残胶；晶托回收线；所述晶托回收线旁设有厚片拆除工位；所述厚片拆除工位用于将晶托组件上粘附的厚片进行拆除；输送机械手机构，用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动，及抓取脱胶完成后的粘附有厚片的晶托组件、驱动晶托组件移动至厚片拆除工位、以及在厚片拆除后将晶托组件放于晶托回收线进行回收。本申请实施例提供的脱胶装置能够实现自动脱胶、擦胶及拆卸厚片。
专利权项：1.一种脱胶装置，其特征在于，包括：硅片作业线；所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位；所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶，以使硅片与晶托组件分离；所述擦除工位用于进一步擦除硅片上的残胶；晶托回收线；所述晶托回收线旁设有厚片拆除工位；所述厚片拆除工位用于将晶托组件上粘附的厚片进行拆除；输送机械手机构，用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动，及抓取脱胶完成后的粘附有厚片的晶托组件、驱动晶托组件移动至厚片拆除工位、以及在厚片拆除后将晶托组件放于晶托回收线进行回收。
百度查询： 乐山高测新能源科技有限公司 脱胶装置
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