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申请/专利权人：福建晶安光电有限公司
申请日：2022-12-30
公开（公告）日：2023-04-11
公开（公告）号：CN115946026A
专利技术分类：.适用于特殊工件的[2006.01]
专利摘要：本申请提供一种抛光头、抛光装置和抛光方法，用于安装被抛光工件，抛光头用于安装被抛光工件，包括：抛光头本体和压电陶瓷，压电陶瓷安装于所述抛光头本体之内，压电陶瓷用于与超声发生器连接以使抛光头振动。有效减小了压电陶瓷与安装在抛光头上的被抛光工件之间的距离，进而减小压电陶瓷产生的振动在传递至被抛光工件的过程中的功率损耗，在抛光被抛光工件时使被抛光工件的振幅相对较大，最终达到获得更好的抛光效果的目的；而且，减小压电陶瓷产生的振动在传递至被抛光工件的过程中的功率损耗，还可以使被抛光工件在抛光时获得较高的振动频率，进而获得更好的抛光效果。
专利权项：1.一种抛光头，用于安装被抛光工件，其特征在于，所述抛光头包括抛光头本体和压电陶瓷，所述压电陶瓷安装于所述抛光头本体之内，所述压电陶瓷用于与超声发生器连接以使所述抛光头振动。
百度查询： 福建晶安光电有限公司 抛光头、抛光装置和抛光方法
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