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一种用于嵌入芯片结构的多层PCB板Cavity制作方法 

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申请/专利权人:江苏博敏电子有限公司

摘要:本发明公开了一种用于嵌入芯片结构的多层PCB板Cavity制作方法,首先,在L3层上根据Cavity区域设计要求,设置对应的底部铜层,铺设压合L2层,通过线路图形转移在L2层对应Cavity区域刻蚀铜窗,铺设压合L1层,通过线路图形转移在L1层板面对应Cavity区域蚀刻出铜窗,通过激光钻孔开槽工艺实现Cavity制作,激光钻孔从L1层向下开槽,其深度刚好接触到L3层的铜层,通过等离子设备(Plasma)将Cavity底部L3层铜层上的残胶去除,使用水平除胶线对L3层铜层进行二次除胶,并清洗Cavity底部残屑,使用挡点印刷工艺,完成阻焊制作,避免Cavity区域进入油墨,对L3层铜层进行镍钯金表面处理,完成制作。

主权项:1.一种用于嵌入芯片结构的多层PCB板Cavity制作方法,其特征在于,首先,在L3层上根据Cavity区域设计要求,设置对应的底部铜层,铺设压合L2层,通过线路图形转移在L2层对应Cavity区域刻蚀铜窗,铺设压合L1层,随后包括如下具体步骤:步骤1:通过线路图形转移在L1层板面对应Cavity区域蚀刻出铜窗;步骤2:通过激光钻孔开槽工艺实现Cavity制作,激光钻孔从L1层向下开槽,其深度刚好接触到L3层的铜层;步骤3:通过等离子设备(Plasma)将Cavity底部L3层铜层上的残胶去除;步骤4:使用水平除胶线对L3层铜层进行二次除胶,并清洗Cavity底部残屑;步骤5:使用挡点印刷工艺,完成阻焊制作,避免Cavity区域进入油墨;步骤6:对L3层铜层进行镍钯金表面处理,完成制作。

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权利要求:

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