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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2018-05-10
公开（公告）日：2023-07-18
公开（公告）号：CN111133677B
专利技术分类：.不用压电、电致伸缩或磁致伸缩材料的谐振器的结构特点[2006.01]
专利摘要：在谐振器中，能够高精度地调整频率温度特性。谐振器具备：振动部；保持部，被设置成包围振动部的至少一部分；以及保持臂，连接振动部和保持部，该振动部具有：第一电极和第二电极；压电膜，形成于第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的第一面；以及至少2个温度特性调整膜，隔着第一电极与压电膜的第一面对置地形成，振动部具有与压电膜的第一面对置的表面，该表面包括第一区域以及在振动部振动时平均位移比第一区域大的第二区域，至少2个温度特性调整膜包括在第一区域中的分别不同的区域露出的、频率温度系数为正的第一温度特性调整膜以及频率温度系数为负的第二温度特性调整膜。
专利权项：1.一种谐振器，具备：振动部；保持部，被设置成包围上述振动部的至少一部分；以及保持臂，连接上述振动部和上述保持部，上述振动部具有：第一电极和第二电极；压电膜，形成于上述第一电极与上述第二电极之间，并且具有与上述第一电极对置的第一面；以及温度特性调整膜，隔着上述第一电极与上述压电膜的上述第一面对置地形成，上述振动部具有与上述压电膜的上述第一面对置的表面，该表面包括第一区域以及第二区域，在上述振动部振动时，上述第二区域的平均位移比上述第一区域的平均位移大，上述振动部具有至少一个频率调整膜，上述至少一个频率调整膜的表面在上述第二区域露出，上述至少一个频率调整膜形成在上述温度特性调整膜上，上述温度特性调整膜包括频率温度系数为正的第一温度特性调整膜以及频率温度系数为负的第二温度特性调整膜，上述第一温度特性调整膜和上述第二温度特性调整膜分别在上述第一区域中的不同的区域露出。
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