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摘要：本发明涉及从含H2SiF6的刻蚀废酸中回收氢氟酸的方法，H2SiF6氨解制备NH4F，对NH4F进行热酸解制备HF，生成的HF受热气化并被收集。通过本发明的方法能够在刻蚀废液中提取和回收HF。进一步的，通过本发明方法提取HF具有提取纯度高、提取率高、工艺能耗少，产物可循环使用等优点，具有突出的经济效益、社会效益以及生态效益。
主权项：1.一种从含H2SiF6和HF的刻蚀废酸中回收氢氟酸的方法，其特征在于包括以下步骤：将氨气过量度地缓慢通入刻蚀废酸中，使之与废酸发生反应，反应式如下：HF+NH3·H2O→NH4F+H2O，H2SiF6+6NH3·H2O→6NH4F+SiO2↓+4H2O，反应后得到氟化铵溶液和SiO2的混合浆料，浆料过滤后，对滤清液氟化铵溶液进行热酸解制备HF，所述的热酸解用酸采用磷酸，磷酸的浓度大于等于85％wt，热酸解的温度在100～120℃，热酸解的反应式为：H3PO4+NH4F→NH4H2PO4+HF↑，H3PO4+2NH4F→NH42HPO4+2HF↑，H3PO4+3NH4F→NH43PO4+3HF↑，HF在热酸解中气化并被收集，热酸解生成的NH4+由磷酸镁铵沉淀法脱除，反应式为：NH4++Mg2++PO43-+6H2O→MgNH4PO4·6H2O↓NH4++Mg2++HPO42-+6H2O→MgNH4PO4·6H2O↓+H+将磷酸镁铵加热分解生成氨气和MgHPO4，反应式为：MgNH4PO4→MgHPO4+NH3↑将所述的氨气回用于氨解，热分解生成MgHPO4用于与所述的NH4+进行磷酸镁铵沉淀法的脱除。
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