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一种双Tank循环高效药液供给装置 

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申请/专利权人:南京华易泰电子科技有限公司

摘要:本实用新型提出一种双Tank循环高效药液供给装置,涉及玻璃基板清洗技术领域,包括喷淋室,喷淋室内设有喷淋管,喷淋管上设有若干对玻璃基板进行清洗的喷淋嘴,喷淋室外侧设有对喷淋管起到供液作用的A供液组件和B供液组件,A供液组件和B供液组件与喷淋管通过管路并联连接,该双Tank循环高效药液供给装置,构成A供液组件和B供液组件循环不间断供给液模式,减少更换药液时间,提高设备的利用率,提高生产效率。

主权项:1.一种双Tank循环高效药液供给装置,其特征在于,包括喷淋室1,所述喷淋室1内设有喷淋管101,所述喷淋管101上设有若干对玻璃基板2进行清洗的喷淋嘴102,所述喷淋室1外侧设有对喷淋管101起到供液作用的A供液组件和B供液组件,所述A供液组件和B供液组件与喷淋管101通过管路并联连接。

全文数据:

权利要求:

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