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申请/专利权人：法国原子能及替代能源委员会
摘要：本发明的一个方面涉及一种基于以多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷为特性的每个样本的图像来分析至少两个样本之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的方法，包括：针对每个样本，创建至少一个小型地图的步骤E1，该小型地图包括多个仓并表示多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷，并且其分辨率小于样本的图像，小型地图的每个仓与样本的图像的多个像素相关联，并且具有取决于所述像素并表示至少一种类型的缺陷的数量的分数；确定表示多种类型的缺陷之中的一种或多种相同类型的缺陷的每个小型地图之间的距离的步骤，通过考虑以下变换来将两个小型地图之间的距离定义为两个小型地图之间的最小距离：旋转和或对称，以使得两个小型地图之间的每个距离都与变换相关联。此外，通过考虑与表示多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的每个小型地图之间的距离相关联的变换，来执行对至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析。
主权项：1.一种基于以多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷为特性的每个样本EC的图像IM来分析至少两个样本EC之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的方法，包括：针对每个样本EC，创建至少一个被称为小型地图MC的矩阵的步骤E1，该小型地图MC包括多个仓并表示所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷，并且其分辨率小于所述样本EC的所述图像IM，所述小型地图MC的每个仓与所述样本EC的所述图像IM的多个像素相关联，并且具有取决于所述像素并表示至少一种类型的缺陷的数量的分数；确定表示所述多种类型的缺陷之中的一种或多种相同类型的缺陷的每个小型地图MC之间的距离的步骤E2，通过考虑以下变换来将两个小型地图MC之间的距离定义为两个小型地图MC之间的最小距离：旋转和或对称，以使得两个小型地图MC之间的每个距离都与变换相关联；通过考虑与表示所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的每个小型地图MC之间的距离相关联的变换，来执行对至少两个样本EC之间的所述多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 法国原子能及替代能源委员会 至少两个样本之间的多种类型的缺陷之中的至少一种类型的缺陷的分析
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