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申请/专利权人：深圳国际量子研究院;实陆仪器科技(上海)有限公司
申请日：2023-03-09
公开（公告）日：2023-11-10
公开（公告）号：CN219996661U
专利技术分类：.测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J37/20）[2006.01]
专利摘要：本申请公开了一种生长平台及生长系统，生长平台包括主体、生长工位和测试组件，生长工位设置于主体，生长工位包括样品托；测试组件包括测试件，测试件与样品托能够相对活动，测试件能够与材料接触以测试材料。通过生长平台的生长工位的样品托用于材料的生长，通过测试件对样品托上的材料进行原位测试电学性能，以此判断材料生长的过程中，生长的材料的品质好坏以及材料的生长阶段，不需要再将材料从样品托上取下，保障生长材料的质量的同时，能够节约时间，提高生长材料的效率，同时测试件与样品托活动连接，当需要测试材料时，测试件与样品托连接，当不需要测试材料时，测试件与样品托分离，避免了影响材料的生长，保证了材料的生长质量。
专利权项：1.生长平台，用于材料的生长，其特征在于，所述生长平台包括：主体；生长工位，所述生长工位设置于所述主体，所述生长工位包括样品托，所述样品托用于承载所述材料；测试组件，设置于所述生长工位，所述测试组件包括测试件，所述测试件与所述样品托能够相对活动，所述测试件能够与所述材料接触以测试所述材料。
百度查询： 深圳国际量子研究院 实陆仪器科技(上海)有限公司 生长平台及生长系统
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