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一种单晶样棒少子寿命测试方法 

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申请/专利权人:四川永祥能源科技有限公司

摘要:本发明涉及晶棒质量检测技术领域,提供一种单晶样棒少子寿命测试方法,包括以下步骤:对多晶硅棒进行取样,得到单晶样棒;分别测定单晶样棒和准备滴加到少子寿命测试仪电极上的水的电阻率;比较单晶样棒的电阻率与水的电阻率大小;若单晶样棒的电阻率超过水的电阻率而达到预设值,则测试单晶样棒少子寿命时,少子寿命测试仪的电极上不加水;反之,则加水进行单晶样棒少子寿命的测试。本发明通过测定单晶样棒和水的电阻率并比较它们的相对大小,以此来确定少子寿命测试时测试仪的两个电极是否加水,可以降低测试数据的偶发性,从而能够有效提高单晶样棒少子寿命测试结果的准确性。

主权项:1.一种单晶样棒少子寿命测试方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、对多晶硅棒进行取样,得到单晶样棒;S2、分别测定单晶样棒和准备滴加到少子寿命测试仪电极上的水的电阻率;S3、比较单晶样棒的电阻率与水的电阻率大小;S4、若单晶样棒的电阻率超过水的电阻率而达到预设值,则测试单晶样棒少子寿命时,少子寿命测试仪的电极上不加水;反之,则加水进行单晶样棒少子寿命的测试。

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权利要求:

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