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申请/专利权人：中环领先半导体材料有限公司
摘要：本发明一种防止抛光液Tank漏液方法，步骤为：1在Tank的回流口上设置防护罩；2防护罩上设置有过滤网；3防护罩上还开设有溢流区；4防护罩的过滤网堵塞时，抛光液堆积沉淀，到达溢流区，通过溢流区流入Tank回流口，形成防止抛光液溢流出Tank外的防止抛光液Tank漏液方法。
主权项：1.一种防止抛光液Tank漏液方法，其特征在于：步骤为：1在Tank的回流口上设置防护罩；2防护罩上设置有过滤网；3防护罩上还开设有溢流区；4防护罩的过滤网堵塞时，抛光液堆积沉淀，到达溢流区，通过溢流区流入Tank回流口，形成防止抛光液溢流出Tank外的防止抛光液Tank漏液方法。
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百度查询： 中环领先半导体材料有限公司 防止抛光液Tank漏液方法
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