龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本发明提供了一种半导体工艺设备的自动开腔装置，用于自动开合半导体工艺腔室的顶盖，该自动开腔装置包括：驱动组件、传动轴、导丝轮、多个导向轮以及传动丝，其中，该驱动组件和该传动轴设于腔室外的后侧底部，该导丝轮套设固定在该传动轴上并随着该传动轴的转动而转动；该传送丝的一端固定连接于腔室顶盖的前部，沿着该顶盖延伸至该顶盖与该腔室的铰接处后，经过该多个导向轮的导向后向下延伸并绕至该导丝轮上，当该驱动组件驱动该传动轴转动时，带动该导丝轮滚动以收放该传动丝，使得该传动丝吊起或放下该顶盖的前端以实现该顶盖的自动开合。
主权项：1.一种半导体工艺设备的自动开腔装置，用于自动开合半导体工艺腔室的顶盖，所述自动开腔装置包括：驱动组件、传动轴、导丝轮、多个导向轮以及传动丝，其中，所述驱动组件和所述传动轴设于腔室外的后侧底部，所述导丝轮套设固定在所述传动轴上并随着所述传动轴的转动而转动；所述传送丝的一端固定连接于腔室顶盖的前部，沿着所述顶盖延伸至所述顶盖与所述腔室的铰接处后，经过所述多个导向轮的导向后向下延伸并绕至所述导丝轮上，当所述驱动组件驱动所述传动轴转动时，带动所述导丝轮滚动以收放所述传动丝，使得所述传动丝吊起或放下所述顶盖的前端以实现所述顶盖的自动开合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 一种半导体工艺设备的自动开腔装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号