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申请/专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院

申请日：2020-09-04

公开（公告）日：2024-03-01

公开（公告）号：CN111948426B

专利技术分类：.AFM〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针[2010.01]

专利摘要：本发明提供了一种弯曲度获取方法、弯曲度测试设备、弯曲度调节装置，弯曲度调节装置包括底板、载台、升降机构、第一压板及第二压板，载台、升降机构均与底板固定连接，第一压板、第二压板均与升降机构固定连接，载台位于第一压板与第二压板之间，柔性薄膜夹设于载台与第一压板、第二压板之间，升降机构带动第一压板、第二压板朝底板运动并下压柔性薄膜的两端，以调节柔性薄膜的弯曲度。本发明提供的弯曲度调节装置通过升降机构带动第一压板、第二压板朝底板运动并下压柔性薄膜的两端，通过调节柔性薄膜的两端的下压程度来调节柔性薄膜的弯曲度，再通过探测器来获得柔性薄膜在不同弯曲半径下的微观结构和性能，从而实现原位测试和弯曲度可调。

专利权项：1.一种弯曲度调节装置，用于调节柔性薄膜的弯曲度，其特征在于，所述弯曲度调节装置包括底板、载台、升降机构、第一压板及第二压板，所述载台、升降机构均与所述底板固定连接，所述第一压板、第二压板均与所述升降机构固定连接，所述载台位于所述第一压板与所述第二压板之间，柔性薄膜夹设于所述载台与所述第一压板、第二压板之间，所述升降机构带动所述第一压板、第二压板朝所述底板运动并下压所述柔性薄膜的两端，以调节所述柔性薄膜的弯曲度；所述升降机构包括驱动组件和升降板，所述驱动组件与所述底板固定连接，所述升降板与所述驱动组件固定连接，所述驱动组件用于驱动所述升降板朝着靠近或远离所述底板的方向运动，所述第一压板和所述第二压板均与所述升降板固定连接；所述驱动组件包括固定板、推杆和调节结构，所述调节结构与所述固定板固定连接，所述固定板上设有第二通孔，所述推杆的一端抵接于所述调节结构，所述推杆的另一端穿过所述第二通孔与所述升降板固定连接，所述调节结构用于调节所述推杆与所述底板之间的距离；所述调节结构包括安装座及设于所述安装座上的千分尺，所述安装座分别与所述底板和所述升降板固定连接，所述千分尺的测微螺杆抵接于所述推杆的端部，以调节所述推杆与所述底板之间的距离。

百度查询： 中国科学院深圳先进技术研究院 弯曲度获取方法、弯曲度测试设备、弯曲度调节装置