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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本实用新型实施例提供了一种CVI沉积工装及CVI沉积炉，用于制备筒状碳碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：导流件，所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部；支撑件，在所述导流件位于所述加热空间内时，所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间，所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙，所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。这种结构更简单的沉积工装可以简化装炉和拆炉操作，有助于缩短沉积工艺的整体耗时，可提高沉积工艺效率。
主权项：1.一种CVI沉积工装，用于制备筒状碳碳热场件，所述热场件包括环绕所述热场件轴线的预制体，所述预制体围成筒状加热空间，所述预制体两端设置有与所述加热空间连通的第一开口和第二开口，所述第一开口大于所述第二开口，其特征在于，所述沉积工装包括：导流件，所述导流件包括设置有第一导流面的第一导流部；支撑件，在所述导流件位于所述加热空间内时，所述支撑件位于所述第一导流部与所述预制体之间，所述支撑件支撑所述第一导流面与所述预制体之间形成导流间隙，所述导流间隙用于引导碳源气体的扩散。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种CVI沉积工装和CVI沉积炉
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