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一种高效制备high-k有机金属前驱体的方法 

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申请/专利权人:铜陵安德科铭电子材料科技有限公司

摘要:本发明提供了一种高效制备high‑k有机金属前驱体的方法,属于有机合成领域。本发明将二烷基胺的锂盐与金属氯化物反应,得到含有有机金属前驱体MNR1R24以及氯化锂的第一反应液;向第一反应液中加入用于使氯化锂溶解的有机溶剂以及异丁酸甲酯,在微波反应条件下,使异丁酸甲酯与氯化锂反应,形成第二反应液;纯化第二反应液,得有机金属前驱体。本发明在生产过程中不需要经历固液分离的过程,易于操作和工业化生产。

主权项:1.一种高效制备high-k有机金属前驱体的方法,其特征在于,包括:化合物1及化合物2,其中,化合物1为HNR1R2、化合物2为MCl4,R1、R2相互独立地选自C1-C5的烷基,M选自Ti、Sn、Hf、Zr中的任意一种;所述方法,包括如下步骤,步骤1,将化合物1加入到-30℃~0℃的正丁基锂溶液中,得到化合物1的锂盐溶液;步骤2,在-20℃~50℃下,将化合物2加入到所述化合物1的锂盐溶液中,得到含有有机金属前驱体MNR1R24以及氯化锂的第一反应液;步骤3,向所述第一反应液中加入有机溶剂苯使氯化锂溶解,加入异丁酸甲酯,在微波反应条件下,使所述异丁酸甲酯与所述氯化锂反应,形成第二反应液;步骤4,对所述第二反应液进行蒸馏和或精馏,得有机金属前驱体。

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权利要求:

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