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申请/专利权人：江苏志文半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种RPS腔体保养操作装置，包括RPS设备，所述RPS设备外围还设置有吹扫模块、控温模块和水量控制模块，所述吹扫模块、所述控温模块和所述水量控制模块均通过管道与所述RPS设备的腔体相连，所述吹扫模块设置有气动阀，所述控温模块设置有温度传感设定器，所述水量控制模块设置有流量计。
主权项：1.一种RPS腔体保养操作装置，其特征在于：包括RPS设备，所述RPS设备外围还设置有吹扫模块、控温模块和水量控制模块，所述吹扫模块、所述控温模块和所述水量控制模块均通过管道与所述RPS设备的腔体相连，所述吹扫模块设置有气动阀，所述控温模块设置有温度传感设定器，所述水量控制模块设置有流量计。
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百度查询： 江苏志文半导体科技有限公司 一种RPS腔体保养操作装置
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