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申请/专利权人：江苏志文半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种RPS腔体氦检装置，包括RPS腔体，所述RPS腔体的外部采用壳体密封，所述RPS腔体还设置有氦气检测仪，所述氦气检测仪和所述RPS腔体的壳体之间通过波纹管相连，所述RPS腔体和所述波纹管之间密封相连，所述RPS腔体还设置有真空模块、流量控制模块和压力控制模块。
主权项：1.一种RPS腔体氦检装置，包括RPS腔体，其特征在于：所述RPS腔体的外部采用壳体密封，所述RPS腔体还设置有氦气检测仪，所述氦气检测仪和所述RPS腔体的壳体之间通过波纹管相连，所述RPS腔体和所述波纹管之间密封相连，所述RPS腔体还设置有真空模块、流量控制模块和压力控制模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏志文半导体科技有限公司 一种RPS腔体氦检装置
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