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摘要：本发明属于涂层制备技术领域，提供了一种CrNZrYN纳米多层膜涂层及其制备方法。本发明的CrNZrYN纳米多层膜涂层，包括交替层叠设置的CrN涂层和ZrYN涂层。本发明在ZrN涂层中，掺杂Y，使CrNZrYN纳米多层膜涂层同时具备高硬度和高韧性。其中ZrYN涂层的厚度能够影响CrNZrYN纳米多层膜涂层的韧性和硬度。本发明还提供了CrNZrYN纳米多层膜涂层的制备方法，本发明的制备方法操作简单，成本低，易于工业化。进一步地，本发明通过控制第一磁控溅射和第二磁控溅射的参数，强化薄膜的同时使裂纹扩展受到抑制，提高CrN涂层和ZrYN的结合强度，使得最终所得膜层的硬度和韧性同时提升。
主权项：1.一种CrNZrYN纳米多层膜涂层，其特征在于，包括交替层叠设置的CrN涂层和ZrYN涂层。
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百度查询： 上海工具厂有限公司 上海理工大学 一种CrN/ZrYN纳米多层膜涂层及其制备方法
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