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摘要:本申请涉及一种复合涂层及其制备方法。根据本申请的部分实施例的一种复合涂层,其包括在基材上形成的第一层和第二层,其中所述第一层为氧氮化铬涂层,所述第二层是致密氧化铬涂层,所述氧氮化铬涂层包含面心立方结构的氧氮化铬柱状晶体,其中所述氧氮化铬柱状晶体的晶轴垂直排列于所述氧氮化铬涂层的涂附表面上。本申请的复合涂层能够优化涂层结构,呈现出致密的氧化铬表层,并通过面心立方结构排列的氧氮化铬涂层提供基材与涂层之间的结合强度,该涂层特别适用于在高温环境中使用。
主权项:1.一种复合涂层,其包括经配置依序在基材表面上形成的第一层和第二层,其中所述第一层为氧氮化铬涂层,所述第二层是氧化铬涂层,所述氧氮化铬涂层包含面心立方结构的氧氮化铬柱状晶体,其中所述氧氮化铬柱状晶体的晶轴垂直排列于所述氧氮化铬涂层的涂附表面上;所述的复合涂层的制备方法,其由以下步骤组成:1提供基材;2等离子体清洗;3采用真空阴极电子枪技术进行物理气相沉积,铬为靶材,在通氮气的流量为300sccm且通氧气的流量为50sccm的环境下,于所述基材上形成氧氮化铬涂层;4采用真空阴极电子枪技术进行物理气相沉积,铬为靶材,在通氧气的流量为500sccm的环境下,于所述氧氮化铬涂层的表面上形成氧化铬涂层。
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