龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN118003251A
专利技术分类：.在磨床或抛光机上排除粉尘的装置（B24B31/12优先）[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种防止硅片镜面抛光后表面颗粒及污迹不良的方法，通过向保存水槽中添加表面活性剂的方式，打破了传统的放置在纯水中需要保持溢流的方法纯水的浪费现象。不仅在硅片表面形成保护膜可以延长产品放置时间并且有效防止硅片表面的污迹不良发生，同时解决了因放置时间长造成硅片表面污迹产生的技术问题。
专利权项：1.一种防止硅片镜面抛光后表面颗粒及污迹不良的方法，其特征在于，停止保存水槽中纯水的溢流状态，向其中添加表面活性剂，然后将待保存硅片置于其中一定时间。
百度查询： 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 一种防止硅片镜面抛光后表面颗粒及污迹不良的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号