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申请/专利权人：江苏先导微电子科技有限公司
摘要：一种CdTe薄膜电池曝光设备用于UV点光源发射的UV光线透过将要形成的P1线槽区域的光刻胶对CdTe薄膜电池从下往上曝光，CdTe薄膜电池曝光设备包括UV点光源、凸透镜以及光罩；UV点光源位于凸透镜的下方且位于凸透镜的焦点上；凸透镜用于将UV点光源发出的光整形为与CdTe薄膜电池垂直的从下往上发射的平行光以使平行光透过将要形成的P1线槽区域的光刻胶对CdTe薄膜电池从下往上曝光；光罩位于凸透镜的上方，光罩和凸透镜用于使设置有光刻胶的CdTe薄膜电池在上下方向上位于中间，光罩的面向凸透镜的内表面平行于CdTe薄膜电池且与平行光垂直；光罩的面向凸透镜的内表面为镜面反射的表面。由此，能够避免在CdTe薄膜表面的光刻胶上出现凸点的情况。
主权项：1.一种CdTe薄膜电池曝光设备，用于UV点光源发射的UV光线透过将要形成的P1线槽区域的光刻胶200对CdTe薄膜电池300从下往上曝光，其特征在于，CdTe薄膜电池曝光设备100包括UV点光源1、凸透镜2以及光罩3；UV点光源1位于凸透镜2的下方且位于凸透镜2的焦点上；凸透镜2用于将UV点光源1发出的光整形为与CdTe薄膜电池300垂直的从下往上发射的平行光以使平行光透过将要形成的P1线槽区域的光刻胶200对CdTe薄膜电池300从下往上曝光；光罩3位于凸透镜2的上方，光罩3和凸透镜2用于使设置有光刻胶200的CdTe薄膜电池300在上下方向D上位于中间，光罩3的面向凸透镜2的内表面31平行于CdTe薄膜电池300且与平行光垂直；光罩3的面向凸透镜2的内表面31为镜面反射的表面。
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