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申请/专利权人：株式会社村田制作所
摘要：声学器件101具备：基板，其具有第一面和朝向所述第一面的相反侧的第二面2b，并具有开口部2e；声学MEMS元件，其以覆盖开口部2e的方式固定于所述第一面；环状电极16，其在第二面2b以包围开口部2e的方式配置；以及阻焊剂层17，其在比环状电极16靠外侧处及靠内侧处，与环状电极16相邻地、以覆盖第二面2b的方式配置，以连结作为环状电极16的边缘的任一处所的第一部位31和作为所述基板的边缘的任一处所的第二部位32的方式，在阻焊剂层17设置有第一缺口部21。
主权项：1.一种声学器件，具备：基板，其具有第一面和朝向所述第一面的相反侧的第二面，并具有开口部；声学MEMS元件，其以覆盖所述开口部的方式固定于所述第一面；环状电极，其在所述第二面以包围所述开口部的方式配置；以及阻焊剂层，其在比所述环状电极靠外侧处及靠内侧处，与所述环状电极相邻地、以覆盖所述第二面的方式配置，以连结作为所述环状电极的边缘的任一处所的第一部位和作为所述基板的边缘的任一处所的第二部位的方式，在所述阻焊剂层设置有第一缺口部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社村田制作所 声学器件及具备该声学器件的模块
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