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申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司
摘要：本发明提供一种具备背面静电消除的光罩盒，具有一内盒的容置空间用以容置一光罩。多个弹性导位元件分别对应配置于内盒的外侧安装部，将内盒的内盖与内基座进行导位而不相对位移。多个导电固持元件对应配置于容置空间中，多个导电固持元件用以抵持光罩的一背侧面，使多个导电固持元件均与光罩的背侧面全时持续电性导通，据以形成由导电固持元件与内盒建立的一静电消散路径。同时借由导电固持元件抵持光罩，以及弹性导位元件对内盖与内基座的自动导位，使得光罩被自动推抵定位至内基座的一中心位置。
主权项：1.一种具备背面静电消除的光罩盒，其特征在于，该光罩盒适用于双层盒，该双层盒包含外盒与该外盒收容内盒，该内盒包括：一内基座；一内盖，其用以结合该内基座以界定一容置空间以及位于该容置空间外的多个外侧安装部，该容置空间用以容置一光罩；多个弹性导位元件，分别对应配置于该外侧安装部，多个该弹性导位元件将该内盖与该内基座进行导位而使彼此不相对位移；以及多个导电固持元件，配置于该容置空间中，多个该导电固持元件用以抵持该光罩的一背侧面，使多个该导电固持元件均与该光罩的该背侧面全时持续电性导通，以形成由多个该导电固持元件、该内盖和该内基座建立的一静电消散路径；通过多个该导电固持元件抵持该光罩，以及多个该弹性导位元件对该内盖与该内基座的自动导位，使得该光罩被自动推抵定位至该内基座的一中心位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 家登精密工业股份有限公司 具备背面静电消除的光罩盒
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