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申请/专利权人：光驰半导体技术(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及薄膜技术领域，具体涉及一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，所述柜体的内表面包裹有保温层，所述保温层过反射板压紧；在所述柜体的内底面设滑动导轨，所述滑动导轨可与源瓶连接；所述柜体的外顶面还设有排风装置和尾气侦测器；其中，所述排风装置连接至尾气处理设备；所述柜体的内顶面还设有光电感烟火灾探测器；位于柜门上方的柜体的前侧外壁设有压差表。本实用新型的优点是：结构简单合理，安装、维护操作简便，减少相关的装配维护时间；功能齐全，配置有尾气探测装置，安全性好。
主权项：1.一种原子层沉积设备用化学源源柜系统，包括柜体和柜门，所述柜门可开合的设置在所述柜体上，所述柜门上设置有视窗，其特征在于：所述柜体的内表面包裹有保温层，所述保温层过反射板压紧；在所述柜体的内底面设滑动导轨，所述滑动导轨可与源瓶连接；所述柜体的外顶面还设有排风装置和尾气侦测器；其中，所述排风装置连接至尾气处理设备；所述柜体的内顶面还设有光电感烟火灾探测器；位于柜门上方的柜体的前侧外壁设有压差表。
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权利要求：
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