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申请/专利权人：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
摘要：本实用新型适用于蒸镀设备技术领域，提供了一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、与底座连接的冷却组件，所述冷却组件包含有底座上的至少两个的固定座，以及盘绕在固定座上的第一管段和第二管段，冷却液从冷却管进水端进入第一管段中自下而上沿着环绕在固定座外壁上进行冷却，接着升温的冷却液在固定座顶端折弯处折返进入螺旋盘绕在固定座上的第二管段，自上而下流动的冷却液继续对固定座外壁进行冷却，从而第一管段和第二管段内两种温度的冷却液交替对固定座外壁进行冷却，因此固定座上的温度基本为上下均匀的冷却温度，使得冷却槽内的蒸发源上下温度均衡。
主权项：1.一种用于旋转型蒸发源的冷却装置，其特征在于：包括用于承载旋转型蒸发源连接旋转台的底座、设置于所述底座上的第一固定座与第二固定座，所述第一固定座与所述第二固定座上均开设有用于放置坩埚的冷却槽，所述第一固定座与所述第二固定座上均盘绕设置有第一管段与第二管段，所述第一管段与所述第二管段均由下至上交替盘绕设置于所述第一固定座与所述第二固定座上，所述第一管段与所述第二管段之间通过弯折部相连接，所述第一固定座上的第一管段与冷却液进水端相连接，所述第一固定座上的第二管段与所述第二固定座上的第一管段通过冷却接管相连接，所述第二固定座上的第二管段与冷却液出水端相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥欣奕华智能机器股份有限公司 一种用于旋转型蒸发源的冷却装置
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