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申请/专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型提供了液态源储罐的稳定装置及薄膜沉积设备。所述液态源储罐的稳定装置包括蓄能器、第一阀门、第一压力计及第二压力计。所述蓄能器用于提供不与所述液态源反应的补充气体。所述第一阀门设于所述蓄能器与所述液态源储罐之间。所述第一压力计设于所述第一阀门与所述液态源储罐之间，以监测所述液态源储罐内的第一气压。所述第二压力计设于所述第一阀门与所述蓄能器之间，以监测所述蓄能器的第二气压，并用于在所述第二气压与所述第一气压的差值大于预设阈值时，开通所述第一阀门，以利用所述蓄能器为所述液态源储罐补气。本实用新型可以监测储罐内的压力变化，并平衡储罐内的压力，以确保薄膜沉积设备的安全性及薄膜沉积工艺的稳定性。
主权项：1.一种液态源储罐的稳定装置，其特征在于，包括：蓄能器，用于提供不与所述液态源反应的补充气体；第一阀门，设于所述蓄能器与所述液态源储罐之间；第一压力计，设于所述第一阀门与所述液态源储罐之间，以监测所述液态源储罐内的第一气压；以及第二压力计，设于所述第一阀门与所述蓄能器之间，以监测所述蓄能器的第二气压，并用于在所述第二气压与所述第一气压的差值大于预设阈值时，开通所述第一阀门，以利用所述蓄能器为所述液态源储罐补气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆科技(上海)有限公司 液态源储罐的稳定装置、薄膜沉积设备
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