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申请/专利权人：无锡星微科技有限公司
摘要：本发明公开了12寸晶圆形貌测量系统，属于晶圆测量技术领域，该形貌测量系统包括基板，基板配置有对应设置的检测台和扫描件，检测台配置有夹持组件，夹持组件包括夹持基板，夹持基板配置有吸附腔，吸附腔配置有抵接件，抵接件包括相对设置且弹性连接的第一板体，第一板体的内部穿插有吸附管。本发明能够防止晶圆在测量过程中错位，保证测量结果的准确性，并且能够降低晶圆转移过程中的磨损度。
主权项：1.12寸晶圆形貌测量系统，包括基板（10），所述基板（10）配置有对应设置的检测台（11）和扫描件（14），其特征在于，所述检测台（11）配置有夹持组件（20），所述夹持组件（20）包括夹持基板（21），所述夹持基板（21）配置有吸附腔（22），所述吸附腔（22）配置有抵接件（30），所述抵接件（30）包括两个相对设置且弹性连接的第一板体（31），所述第一板体（31）的内部穿插有吸附管（33）；所述夹持基板（21）的边缘配置有上下对应设置的上压板（41）与下压板（42），所述下压板（42）与所述夹持基板（21）的上表面贴合设置，所述上压板（41）与所述下压板（42）均为环状结构，且二者弹性连接；所述上压板（41）以及所述下压板（42）的内径等于或大于晶圆直径，以保证晶圆放置精准；所述上压板（41）与驱动杆（43）配合，所述驱动杆（43）能够带动所述上压板（41）靠近或远离所述下压板（42）。
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权利要求：
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