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申请/专利权人：无锡星微科技有限公司
摘要：本发明公开了12寸晶圆形貌测量用工件台，属于晶圆测量技术领域，包括基板，基板设有中空的吸附区域，其内设有抽吸主体，用于抽吸吸附区域的气体；抽吸主体包括吸附套管，吸附套管的两端分别配置有安装基件和底座，安装基件、底座与吸附套管配合形成输气腔室；安装基件的内部贯穿设有第一气道，第一气道的一端与输气腔室连通；底座配置有第二气道，第二气道的一端与输气腔室连通，第二气道的另一端与外接泵体连通；吸附套管为柔性结构。本发明能够防止晶圆变形、降低磨损，加强对晶圆保护；并能够保证晶圆检测过程中位置的精准度。
主权项：1.12寸晶圆形貌测量用工件台，包括基板（10），所述基板（10）设有中空的吸附区域（11），所述吸附区域（11）内设有抽吸主体（20），用于抽吸所述吸附区域（11）的气体；其特征在于，所述抽吸主体（20）包括吸附套管（21），所述吸附套管（21）为柔性结构，所述吸附套管（21）能够沿轴向压缩或拉伸；所述吸附套管（21）的两端分别配置有安装基件（23）和底座（24），所述吸附套管（21）的外部或内部套设有第一弹簧（22），所述第一弹簧（22）的两端分别与所述安装基件（23）以及所述底座（24）抵接；所述安装基件（23）、所述底座（24）与所述吸附套管（21）配合形成输气腔室（26）；所述安装基件（23）的内部贯穿设有第一气道（27），所述第一气道（27）的一端与所述输气腔室（26）连通；所述底座（24）配置有第二气道（29），所述第二气道（29）的一端与所述输气腔室（26）连通，所述第二气道（29）的另一端与外接泵体连通；所述安装基件（23）远离所述吸附套管（21）的一侧还配置有通气连接件（25），所述通气连接件（25）配置有孔体（28），所述孔体（28）与所述第一气道（27）一一对应设置；所述底座（24）配置有通槽，所述通槽的内部穿插设置有可活动的插接柱（31），所述插接柱（31）设于所述输气腔室（26）内部的一端与所述安装基件（23）抵接，并且所述插接柱（31）的外部套设有第二弹簧（33），所述第二弹簧（33）的两端分别与所述安装基件（23）以及所述底座（24）抵接。
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