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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：公开了一种化学液体供应模块和一种包括所述液体供应模块的基底处理设备。所述化学液体供应模块包括：化学液体罐，具有接收空间，所述接收空间限定在所述化学液体罐中，所述接收空间中能够接收化学液体；化学液体循环管线，用于将容纳在所述化学液体罐中的所述化学液体供应到基底处理设备的化学液体喷洒单元，并且用于使所述化学液体的未供应到所述基底处理设备的剩余部分再循环到所述化学液体罐；泵单元，安装在所述化学液体循环管线处，并且配置为控制在所述化学液体循环管线中流动的所述化学液体的流量和压力；以及控制器，配置为将控制信号施加到所述泵单元，以控制所述泵单元的每分钟转数RPM。
主权项：1.一种化学液体供应模块，包括：化学液体罐，具有接收空间，所述接收空间限定在所述化学液体罐中，所述接收空间中能够接收化学液体；化学液体循环管线，用于将容纳在所述化学液体罐中的所述化学液体供应到基底处理设备的化学液体喷洒单元，并且用于使所述化学液体的未供应到所述基底处理设备的剩余部分再循环到所述化学液体罐；泵单元，安装在所述化学液体循环管线处，并且配置为控制在所述化学液体循环管线中流动的所述化学液体的流量和压力；以及控制器，配置为将控制信号施加到所述泵单元，以控制所述泵单元的每分钟转数RPM，以控制通过所述化学液体循环管线供应到所述基底处理设备的所述化学液体的流量，其中，所述泵单元包括能够转动的叶轮，所述叶轮设置在所述泵单元中，其中，所述控制器配置为基于预定加热温度使所述叶轮的所述RPM变化，使得使用从所述泵单元中转动的所述叶轮和所述化学液体之间的摩擦生成的摩擦热将通过所述化学液体循环管线要被供应到所述基底处理设备的所述化学液体加热到所述预定加热温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 化学液体供应模块和基底处理设备
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