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申请/专利权人：天通银厦新材料有限公司

摘要：本申请公开了一种用于不同面形晶片的抛光装置，涉及化学机械抛光技术领域，装置包括抛光底盘、抛光载盘、抛光上盘、横向移动机构、旋转机构和竖直升降机构；抛光载盘设于抛光底盘上；横向移动机构包括移动底座、滚珠丝杠副、第一驱动机构、丝母座、安装平台和两个直线导轨副，安装平台可活动设于两个直线导轨副上，第一驱动机构设于移动底座上，丝母座设于安装平台的底部，滚珠丝杠副的丝母与丝母座固定连接，滚珠丝杠副的输入端与第一驱动机构的输出轴连接。本申请能够有效解决不同面形的晶片抛光后同一陶瓷盘上贴在内圈的晶片和贴在外圈的晶片厚度不同的技术问题，有效避免产品报废或者返工，提高产品良率及生产效率，降低生产成本。

主权项：1.一种用于不同面形晶片的抛光装置，其特征在于，包括：抛光底盘、抛光载盘、抛光上盘、横向移动机构、旋转机构和竖直升降机构；所述抛光载盘设于所述抛光底盘上，所述抛光载盘用于将多个晶片粘设于所述抛光载盘上，且多个所述晶片面向所述抛光底盘设置，所述抛光底盘的直径大于所述抛光载盘的直径；所述横向移动机构包括移动底座、滚珠丝杠副、第一驱动机构、丝母座、安装平台和两个直线导轨副，两个所述直线导轨副设于所述移动底座的两侧，所述安装平台可活动设于两个所述直线导轨副上，所述第一驱动机构设于所述移动底座上，所述丝母座设于所述安装平台的底部，所述滚珠丝杠副的丝母与所述丝母座固定连接，所述滚珠丝杠副的输入端与所述第一驱动机构的输出轴连接，且所述滚珠丝杠副设于两个所述直线导轨副之间；所述竖直升降机构包括花键轴和气缸，所述移动底座上开设有第一长槽孔，所述气缸的活塞杆为空心杆，所述花键轴的一端通过所述移动底座的所述第一长槽孔连接至所述抛光上盘，所述抛光上盘设于所述抛光载盘的上方，且所述抛光载盘位于所述抛光底盘与所述抛光上盘之间；所述旋转机构包括电机安装支架、第二驱动机构、同步带传动机构和带轮安装支座，所述电机安装支架设于所述安装平台上，所述第二驱动机构设于所述电机安装支架的顶端，所述带轮安装支座穿设于所述电机安装支架的顶端，所述第二驱动机构的输出轴穿设于所述电机安装支架的顶端，所述同步带传动机构设于所述安装平台与所述电机安装支架围合形成的安装槽中的顶部，且所述同步带传动机构的一端与所述第二驱动机构的输出轴连接，所述同步带传动机构的另一端与所述带轮安装支座连接，所述气缸设于所述安装槽中，且所述花键轴的另一端依次贯穿于所述安装平台、所述气缸、所述同步带传动机构靠近所述带轮安装支座的一端，所述电机安装支架的顶端及所述带轮安装支座；所述第二驱动机构用于驱动所述同步带传动机构以传动的方式带动所述花键轴旋转，所述花键轴用于带动所述抛光上盘在所述抛光底盘上根据预设转速进行旋转；所述第一驱动机构用于通过驱动所述滚珠丝杠副带动所述安装平台在两个所述直线导轨副上滑动，以带动所述电机安装支架、所述气缸、所述旋转机构及所述花键轴在所述第一长槽孔中进行横向运动，所述花键轴还用于带动所述抛光上盘在所述抛光底盘上带动所述抛光载盘和多个所述晶片根据预设间隔时间进行间歇性往复运动。

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