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申请/专利权人：SMC株式会社
摘要：一种吸附垫10，具备垫体12和海绵部件20，垫体具有负压室16和与负压室连通的多个连接通路18，海绵部件具有朝向工件开口的多个空洞部22。空洞部经由连接通路与负压室连通，调整流路面积的流路调整阀26配置于连接通路。吸附垫具备用于检测多个空洞部中的一个以上空洞部的压力的压力检测端口50。
主权项：1.一种吸附垫10、60，具备垫体12和海绵部件20，其特征在于，垫体具有负压室16和与所述负压室连通的多个连接通路18，所述海绵部件具有朝向工件开口的多个空洞部22，所述空洞部经由所述连接通路而与所述负压室连通，调整流路面积的流路调整阀26配置于所述连接通路，当在所述负压室产生真空压且所述空洞部没有被所述工件堵塞时，所述连接通路的流路面积被调整为减小，所述吸附垫具备压力检测端口50，该压力检测端口用于检测所述多个空洞部中的一个以上所述空洞部的压力。
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