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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明属于光电化学水分解光电极材料制备技术领域，具体涉及一种钙钛矿型镧钽氮氧化物薄膜的制备方法。是利用双源电子束沉积法和高温氮化法可以直接在金属基底或石英玻璃基底上制备LaTaO2N纳米颗粒薄膜。调控双源电子束沉积过程中最佳LaTa原子比和沉积的薄膜厚度，与相同温度下的高温氧化和高温氮化提升电荷转移率，获得结晶度高且均匀好的薄膜，工艺重复性较高，并且能够有效抑制低价Ta缺陷浓度和杂质相的形成。
主权项：1.一种钙钛矿型镧钽氮氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、清洗基底，基底为金属或石英玻璃基底；步骤2、将La源和Ta源放入双源电子束沉积系统的坩埚中，并将步骤1中清洗干净的基底放入电子束沉积系统的样品台中，待系统抽真空至真空度高于8×10-6Torr；步骤3、利用两个石英晶体微天平分别检测La2O3和Ta2O5的沉积速率和沉积厚度，设置LaTa原子比为0.9～1.3，利用双源电子束沉积系统在基底上制备镧钽化物前驱体薄膜；步骤4、将步骤3中制备好的镧钽化物前驱体薄膜装入石英舟中并密封于高温管式炉中，先在惰性气体气氛中以1～20Kmin的速度升温至1074～474K保温2～6h，使其在1074～1474K下进行高温氧化，随后以1～20Kmin的速度降温至室温；然后在NH3气氛中以1～20Kmin的速度升温至1074～1474K保温6～40h，随后以1～20Kmin的速度降温至室温，制备得LaTaO2N纳米颗粒薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种钙钛矿型镧钽氮氧化物薄膜的制备方法
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