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申请/专利权人：苏州铠欣半导体科技有限公司;湖南铠欣新材料科技有限公司
摘要：本申请涉及一种碳化钽喂料、碳化钽制品及其制备方法。所述碳化钽喂料按质量份记，包括以下组成：90份~95份碳化钽复合粉末、5份~10份蜡基粘结剂，所述碳化钽复合粉末包括碳化钽粉末和烧结助剂。上述碳化钽喂料选用与碳化钽具有良好表面亲和性的蜡基粘结剂取代有机溶剂，喂料中碳化钽的质量分数高达90wt%~95wt%，采用该碳化钽喂料可以制得致密度较高、裂痕较少的碳化钽涂层，所得碳化钽制品能够满足高纯陶瓷单晶生长对衬底材料的性能需求。
主权项：1.一种碳化钽喂料，其特征在于，包括质量百分数为90%~95%的碳化钽复合粉末和质量百分数为5%~10%的蜡基粘结剂，所述碳化钽复合粉末包括碳化钽粉末和烧结助剂。
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百度查询： 苏州铠欣半导体科技有限公司 湖南铠欣新材料科技有限公司 碳化钽喂料、碳化钽制品及其制备方法
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