龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：合肥高纳半导体科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种电阻法碳化硅单晶生长设备，该电阻法碳化硅单晶生长设备包括支架，支架上设置有真空腔室，真空腔室内设置有石墨发热体，真空腔室上设置有加热组件，加热组件穿过真空腔室与石墨发热体连接，加热组件将石墨发热体竖直悬挂在真空腔室内部，加热组件通过电流使石墨发热体发热，以对真空腔室的内部进行加热。本发明提供的电阻法碳化硅单晶生长设备，通过电阻加热原理，能够实现较为均匀的加热效果，避免了温度不均匀导致的质量问题，相比其它加热方式，石墨发热体加热能够将电能高效转化为热能，减少能量损耗，提高能源利用效率，而且石墨发热体的加热功率和加热时间可以通过调节电流和电压等参数来控制，操作简单。
主权项：1.一种电阻法碳化硅单晶生长设备，其特征在于，包括支架，支架上设置有真空腔室，真空腔室内设置有石墨发热体，真空腔室上设置有加热组件，加热组件穿过真空腔室与石墨发热体连接，加热组件将石墨发热体竖直悬挂在真空腔室内部，加热组件通过电流使石墨发热体发热，以对真空腔室的内部进行加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥高纳半导体科技有限责任公司 电阻法碳化硅单晶生长设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号