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申请/专利权人：内蒙古中环晶体材料有限公司
摘要：本实用新型属于硅单晶生产制造技术领域，涉及一种用于单晶炉的埚托结构，可与托杆连接，包括设有承托面、底面和支撑面的埚托主体，所述承托面用于承载坩埚，所述底面位于所述埚托主体的底部并与所述托杆连接，所述支撑面分别连接所述底面与所述承托面，通过所述支撑面可使漏硅后的硅液聚集滴落。本实用新型的有益效果是，通过第一倾斜面和第二倾斜面形成第一夹角θ，使得硅液只能从F点聚集滴落，从而不会到达G、H点烫穿波纹管发生漏气氧化热场，达到减少损失的目的；设置垂直距离H，与第一夹角θ相互配合，既能保证埚托主体对坩埚的支撑作用，还能保证漏硅后的所有硅液从F点聚集滴落。
主权项：1.一种用于单晶炉的埚托结构，可与托杆连接，其特征在于：包括设有承托面、底面和支撑面的埚托主体，所述承托面用于承载坩埚，所述底面位于所述埚托主体的底部并与所述托杆连接，所述支撑面分别连接所述底面与所述承托面，通过所述支撑面可使漏硅后的硅液聚集滴落；所述支撑面包括形成第一夹角的第一倾斜面和第二倾斜面，所述第一倾斜面远离所述第一夹角的端部连接所述底面，所述第二倾斜面远离所述第一夹角的端部延伸至所述承托面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种用于单晶炉的埚托结构
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