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申请/专利权人:宁波志方新材料有限公司
摘要:本实用新型公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体、盖体、净化组件与籽晶安装块。本申请中,将籽晶固定于籽晶安装块的侧部,驱动件带动传动杆转动,传动杆通过与移动座的旋合而带动移动座与盖体进行竖直移动,直至盖体与主炉体稳定结合,气体通过净化组件完成净化之后导入到主炉体,在通过推动缸转动件下行,直至籽晶安装块伸入到反应坩埚,最后通过转动件带动籽晶安装块转动,使晶体成柱状生长,以此保证了反应过程稳定进行的同时,通过外设的驱动件配合上螺杆与移动座实现盖体的竖直打开,避免了籽晶安装块与反应坩埚的碰撞,从而提高了晶体生长炉炉压稳定装置使用的稳定性。
主权项:1.一种晶体生长炉炉压稳定装置,包括主炉体1、盖体3、净化组件4与籽晶安装块18,其特征在于,所述主炉体1底部固定安装有底板2,所述盖体3顶部通过顶架9固定安装有推动缸10,所述推动缸10输出端固定安装有转动件11,且所述转动件11输出端与籽晶安装块18固定连接,所述主炉体1外表壁固定安装有侧座5,所述侧座5与盖体3之间设置有用于盖体3竖直移动的开启组件。
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权利要求:
百度查询: 宁波志方新材料有限公司 一种晶体生长炉炉压稳定装置
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