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申请/专利权人：东屹半导体科技(江苏)有限公司

摘要：本发明提供了半导体自动撕膜机的剥膜装置，通过设置第一气源驱动推动第二滑动件将隔离板推送至第一垃圾通道的底部，第一滑动件、第二滑动件和隔离板为一体部件同步运转，阻挡废膜的下落，可以在不停机的情况下进行垃圾箱的更换，提高了生产效率，同时通过设置第一剥膜机构和第二剥膜机构，通过设置第三气源驱动驱动剥离夹右移，阻挡撕膜夹手粘连废膜，通过设置第二气源驱动驱动剥离夹进行下降和上升，下降过程为了将废膜下移掉落垃圾箱，上移过程中阻挡杆阻挡剥离夹对废膜的粘连，提高了设备的自动化程度和生产效率，保障撕膜夹手的运行不受影响以及提升剥膜的效率。

主权项：1.半导体自动撕膜机的剥膜装置，其特征在于：包括第一平台1，所述第一平台1上设置有四组第一滑轨10和两组第一限位6，所第一限位6位于中间两组第一滑轨10的两端，所述第一滑轨10外侧两组与第一滑动件9连接，所述第一滑轨10内侧两组与第二滑动件28连接，所述第一滑动件9和第二滑动件28通过隔离板8连接，所述第一平台1上设置有两组第一气源驱动7，所述第二滑动件28与第一气源驱动7连接，所述第一平台1上设置有支撑架5和第一立柱11，所述第一滑轨10内侧两组滑轨之间设置有两根第一立柱11固定在第一平台1上，所述第一固定架4固定第一垃圾通道2和第二垃圾通道3的一侧，所述第一垃圾通道2和第二垃圾通道3的另一侧通过第二固定架30连接，所述第一垃圾通道2和第二垃圾通道3通道内分别设置有两根阻挡杆14，所述第二固定架30上设置有第二立柱31，所述第二立柱31与第一立柱11支撑第二平台15，所述第二平台15上设置有结构相同的第一剥膜机构12和第二剥膜机构13，所述第一剥膜机构12通过在第二平台15上设置第二限位17、第二滑轨18和第三滑轨19，所述第二滑轨18和第三滑轨19上滑动连接有第三平台16，所述第三平台16包括支撑柱20、第二气源驱动21、第三气源驱动22和剥离夹23；所述第一平台1位于第一垃圾通道2和第二垃圾通道3的下方设置有连接通道29，所述连接通道29的下方设置有第一垃圾箱26和第二垃圾箱27，所述第一垃圾箱26和第二垃圾箱27通过固定锁件32锁定。

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权利要求：

百度查询： 东屹半导体科技(江苏)有限公司 半导体自动撕膜机的剥膜装置