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摘要：本发明公开了一种不锈钢列管式散热器表面TiAlN膜层的制备方法，包括采用铝钛合金靶材，质量占比为铝67±0.1％，钛33±0.1％,铝、钛总含量不低于99.99％。采用湿玻璃喷丸对工件进行前处理，提升工件表面一致性，采用柠檬酸和表面活性剂为主要成分的清洗剂对工件表面进行清洗，提升表面活性。采用600V电压、50％脉冲比对工件表面进行轰击清洗，防止工件表面温度过高。采用2段式膜层沉积方案，提升膜层与基体的附着力同时保证膜层耐蚀性和耐磨性。本发明能够有效解决不锈钢列管式散热器表面镀TiAlN膜层的过程中产生焊缝裂纹以及膜层附着力不合格等问题，确保镀TiAlN膜层的致密度大、附着力好。
主权项：1.不锈钢列管式散热器表面TiAlN膜层的制备方法，其特征在于：采用多弧离子镀在不锈钢列管式散热器表面形成TiAlN膜层，镀膜过程中采用铝钛合金靶材，质量占比为铝67±0.1％，钛33±0.1％，铝、钛总含量不低于99.99％；所述多弧离子镀包括前处理和镀膜，其中：所述前处理至少包括以下两个步骤，步骤1，采用湿玻璃喷丸对不锈钢列管式散热器表面进行清理；步骤2，采用柠檬酸和表面活性剂为主要成分的清洗剂对不锈钢列管式散热器表面进行清洗；所述镀膜包括，采用600V电压、50％脉冲比对不锈钢列管式散热器表面进行轰击清洗，将不锈钢列管式散热器的表面温度控制在300℃以内；采用2段式膜层沉积；第1段膜层沉积时电压低于第2段膜层沉积时电压；第1段膜层沉积时电流等于第2段膜层沉积时电流；第1段膜层沉积时氮气流量大于第2段膜层沉积时氮气流量，且第1段膜层沉积时氮气的保持时间短于第2段膜层沉积时氮气的保持时间；第1段采用相对低的电压、相对高的氮气流量和相对短的保持时间，保证膜层附着力，第2段采用相对高的电压、相对小的氮气流量和相对长的保持时间，保证膜层耐摩性和耐腐蚀性。
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