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申请/专利权人：松下知识产权经营株式会社
摘要：提供一种键合装置，键合装置具备可动导光体、第一摄像部、第二摄像部、检测部、对准部以及移动部。可动导光体在位于芯片与基板之间时，使芯片的像从第一入射口入射，并且从第一出射口出射，使基板的键合位置的像从第二入射口入射，并且从第二出射口出射。第一摄像部对从第一出射口出射的芯片的像进行拍摄。第二摄像部对从第二出射口出射的键合位置进行拍摄。检测部对芯片与键合位置的相对位置偏移进行检测。对准部使键合工具与载置台相对地移动。移动部使可动导光体进退。
主权项：1.一种键合装置，键合工具保持芯片，载置台载置基板使得与所述芯片对置，所述键合装置使所述键合工具朝所述载置台的方向下降，将所述芯片接合于所述基板的键合位置，所述键合装置具备：可动导光体，其在位于处于所述键合位置的上方的所述芯片与所述基板之间时，使所述芯片的像从与所述芯片对置的第一入射口入射，并且从在水平方向上与所述第一入射口分离的第一出射口朝上方出射，并且，使所述基板的所述键合位置的像从与所述键合位置对置的第二入射口入射，并且从在水平方向上与所述第二入射口分离的第二出射口朝上方出射；第一摄像部，其对从所述第一出射口出射的所述芯片的像进行拍摄；第二摄像部，其对从所述第二出射口出射的所述键合位置的像进行拍摄；检测部，其基于由所述第一摄像部拍摄到的所述芯片的像和由所述第二摄像部拍摄到的所述键合位置的像，对所述芯片与所述键合位置的相对位置偏移进行检测；对准部，其基于由所述检测部检测到的所述位置偏移，使所述键合工具与所述载置台相对地移动；以及移动部，其不使所述第一摄像部和所述第二摄像部移动，而使所述可动导光体在位于所述键合位置的上方的所述芯片与所述基板之间的空间进退。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 松下知识产权经营株式会社 键合装置
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