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申请/专利权人：RISE技术有限责任公司

摘要：本发明提出了一种制造多组分结构145的方案。对应方法包括通过对应的递送口110递送多个至少部分彼此不同的电镀溶液115，并通过多个移除口120移除递送的电镀溶液115，从而产生对应的动态液滴125。单独设置与电镀溶液115相对应的沉积电流Ia‑Id，沉积电流为多组分结构145中电镀溶液115的组分量的函数。将基底130和动态液滴125相继彼此接触，从而将动态液滴125转化为对应的动态新月面135a‑135d，将多组分结构145对应组分的层140a‑140d电沉积在基底130上。还提出了对应的沉积系统600,700的方案。

主权项：1.制造多组分结构（145）的方法，其中，所述方法包括以下步骤：通过对应的递送口（110）递送多个至少部分彼此不同的电镀溶液（115），所述电镀溶液（115）与所述多组分结构（145）的组分相对应，所述递送口（110）开设在沉积头（100）的工作表面（105）上，通过多个移除口（120）移除递送到所述工作表面（105）上的所述电镀溶液（115），对各个递送口（110），至少一个所述移除口（120）开设在所述工作表面（105）上并至少部分地围绕所述递送口（110），从而产生对应的动态液滴（125），每个动态液滴（125）由保持附着在工作表面（105）上固定位置的所述电镀溶液（115）形成，所述动态液滴（125）的内容物通过所述电镀溶液（115）从所述递送口（110）流至所述移除口（120）的流连续地更新，根据所述多组分结构（145）中所述电镀溶液（115）的组分量，分别设置所述电镀溶液（115）的对应沉积电流（Ia-Id），使基底（130）与一个以上的所述动态液滴（125）的多个组中的每一个相继彼此接触，当所述动态液滴（125）与所述基底（130）接触时，所述动态液滴（125）在所述工作表面（105）和所述基底（130）之间转化为对应的动态新月面（135a-135d），并且当所述动态新月面（135a-135d）与所述基底（130）分离时，所述动态新月面（135a-135d）变回所述动态液滴（125），和至少在所述动态液滴（125）的组的所述电镀溶液（115）和所述基底（130）之间施加沉积电流（Ia-Id），从而使所述动态新月面（135a-135d）将所述多组分结构（145）的对应组分的层（140a-140d）电镀沉积在基底（130）上。

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百度查询： RISE技术有限责任公司 通过动态新月面制作多组分结构