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一种离线光学元件装调平台及装调方法 

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申请/专利权人:北京科益虹源光电技术有限公司

摘要:本发明涉及面形检测技术领域,尤其涉及一种离线光学元件装调平台及装调方法,包括:导轨、设置在所述导轨上的第一转台和第二转台、棱镜平台、安装在棱镜平台上的多个棱镜;激光器和波前传感器;两个转台用于使激光器和波前传感器旋转至所需的角度,所需的角度指激光器发射的激光束照射在所述多个棱镜P1‑Pn中的一个上被反射后,反射光线可以被波前传感器所接收;装调平台还包括处理器,用于接收并显示波前传感器发送的波前图像,并根据所述波前图像判断光学元件面型的变化情况。本申请通过波前传感器对光学元件面型在装配过程中的面型变化情况进行监测,实时对装配过程进行调整优化,可保证光学元件在装配过程中最大程度保持其原始面型状态。

主权项:1.一种离线光学元件装调平台,其特征在于,所述离线光学元件装调平台包括:导轨、设置在所述导轨上的第一转台11和第二转台12、棱镜平台6、安装在所述棱镜平台6上的多个棱镜,所述多个棱镜的正上方分别设置对应有一个角锥,通过拧紧所述角锥对所述多个棱镜分别施加垂直向下的力,进而使所述多个棱镜压紧并固定在所述棱镜平台6上;所述第一转台11上安装有激光器2、第二转台12上安装有波前传感器3;第一转台11和第二转台12,用于使激光器2和波前传感器3旋转至所需的角度,所述所需的角度包括激光器2发射的激光束照射在所述多个棱镜P1-Pn中的一个上被反射后,反射光线可以被波前传感器3所接收;所述装调平台还包括具有显示功能的处理器5,用于从多个棱镜中的最后一面棱镜或从所述多个棱镜的第一面开始对所述多个棱镜按顺序进行装配过程中,接收并显示波前传感器3发送的波前图像,并根据所述波前图像判断光学元件面型的变化情况,在装配当前棱镜时拧紧当前装配棱镜上方的角锥,在拧紧过程中观测波前变化情况,当波前变化超过达到λ10时,停止拧紧。

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权利要求:

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