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电容器、其制造方法及其使用方法 

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申请/专利权人:南方科技大学

摘要:本发明提供了一种电容器、其制造方法及其使用方法,电容器包括承载结构、异质结堆叠结构、第一电极和第二电极,异质结堆叠结构连接于承载结构,异质结堆叠结构包括多个相互层叠的异质结,每一异质结包括势垒层和沟道层,同一异质结中:势垒层和沟道层相互层叠从而在沟道层中形成二维电子气,沟道层位于势垒层背对承载结构的一侧;第一电极和第二电极连接于异质结堆叠结构背对承载结构的一侧表面;异质结堆叠结构还可以具有鳍状结构。该电容器具有多个导电沟道,电容器的电阻较小,电容器的Q值较高;而且,通过改变电容器两端的电压,可以改变电容器的电容。

主权项:1.电容器,其特征在于,包括:承载结构;异质结堆叠结构,连接于所述承载结构,所述异质结堆叠结构由多个异质结相互层叠而形成,每一所述异质结由势垒层和沟道层相互层叠而形成,同一所述异质结中:所述势垒层和所述沟道层相互层叠从而在所述沟道层中形成二维电子气,所述沟道层位于所述势垒层背对所述承载结构的一侧;多个所述异质结的层叠方向为第一方向,所述异质结堆叠结构包括主体部、多个第一鳍片部和多个第二鳍片部,所述第一鳍片部和所述第二鳍片部分别连接于所述主体部沿第二方向的两侧,多个所述第一鳍片部沿第三方向分布,多个所述第二鳍片部沿所述第三方向分布,任意两个相邻的所述第一鳍片部之间具有第一间隙,任意两个相邻的所述第二鳍片部之间具有第二间隙,所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中的任意两者相互垂直;第一电极,覆盖在所述第一鳍片部的表面和所述第一间隙的壁面,所述第一电极与所述第一鳍片部暴露出的所有异质结接触;第二电极,覆盖在所述第二鳍片部的表面和所述第二间隙的壁面,所述第二电极与所述第二鳍片部暴露出的所有异质结接触,所述第二电极与所述第一电极间隔设置;被施加电压的所述电容器存在以下状态:所述第一电极和所述第二电极之间的电压不为零,至少一个异质结满足:其二维电子气位于第一区域或第二区域的部分的电子被耗尽,从而在所述异质结中形成耗尽区;所述第一区域为所述异质结堆叠结构位于所述第一电极和所述承载结构之间的区域,所述第二区域为所述异质结堆叠结构位于所述第二电极和所述承载结构之间的区域。

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